Вакуумные усилители в сочетании с обычными вакуумными механическими насосами повышают вакуум до одного микрона. Подходит для недорогих насосов с большим рабочим объемом и вакуумом от 50 Торр до одного микрона. Производительность: до 52000 м3/час. Давление: до 10-3 Торр в многоступенчатом режиме. |